|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
123163 |
| 005 |
20231031130412.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\133333
|
| 090 |
|
|
|a 123163
|
| 100 |
|
|
|a 20071012d1982 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников
|f под ред. Б. Д. Луфт
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Радио и связь
|d 1982
|
| 215 |
|
|
|a 136 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 129-135.
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводники
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхности
|
| 610 |
1 |
|
|a физико-химические методы
|
| 610 |
1 |
|
|a электрохимические методы
|
| 610 |
1 |
|
|a применение
|
| 610 |
1 |
|
|a обработка
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Луфт
|b Б. Д.
|g Берта Давыдовна
|4 340
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20071012
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20180703
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
