Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников

Detalhes bibliográficos
Outros Autores: Луфт Б. Д. Берта Давыдовна (редактор)
Idioma:russo
Publicado em: Москва, Радио и связь, 1982
Assuntos:
Formato: Livro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=123163
Descrição
Descrição Física:136 с. ил.