|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
123160 |
| 005 |
20231031130410.0 |
| 020 |
|
|
|a RU
|b 88-16630
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\133330
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\book\133328
|
| 090 |
|
|
|a 123160
|
| 100 |
|
|
|a 20071012d1988 m y0rusy5003 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Обработка полупроводниковых материалов
|e учебное пособие для начального профессионального образования
|f В. П. Запорожский, Б. А. Лапшинов
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Высшая школа
|d 1988
|
| 215 |
|
|
|a 181,[3] с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 183 (7 назв.).
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые приборы
|
| 610 |
1 |
|
|a производство
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a монокристаллы
|
| 610 |
1 |
|
|a разрушение
|
| 610 |
1 |
|
|a подложки
|
| 610 |
1 |
|
|a изготовление
|
| 610 |
1 |
|
|a фотолитография
|
| 610 |
1 |
|
|a фотошаблоны
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.002(075.32)
|z rus
|
| 700 |
|
1 |
|a Запорожский
|b В. П.
|g Владимир Петрович
|4 070
|
| 701 |
|
1 |
|a Лапшинов
|b Б. А.
|g Борис Алексеевич
|4 070
|
| 801 |
|
0 |
|a RU
|b RuMRKP
|c 19950417
|g psbo
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20071012
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20080924
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
