Технология толстых и тонких пленок, пер. с англ.

Bibliographic Details
Other Authors:	Рейсман А. Арнольд (340), Роуз К.
Language:	Russian
Published:	Москва, Мир, 1972
Series:	Наука для техники. Современная радиоэлектроника
Subjects:	технология толстые пленки тонкие пленки микроэлектронные схемы материалы производство сборники
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=123089

MARC


LEADER	00000nam0a2200000 4500
001	123089
005	20231031130352.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\book\133258
090			\|a 123089
100			\|a 20071011d1972 km y0rusy50 ca
101	1		\|a rus \|c eng
102			\|a RU
105			\|a a z 001zy
200	1		\|a Технология толстых и тонких пленок \|e пер. с англ. \|f под ред. А. Рейсмана, К. Роуза
210			\|a Москва \|c Мир \|d 1972
215			\|a 174 с. \|c ил.
225	1		\|a Наука для техники. Современная радиоэлектроника
320			\|a Библиография в конце статей
610	1		\|a технология
610	1		\|a толстые пленки
610	1		\|a тонкие пленки
610	1		\|a микроэлектронные схемы
610	1		\|a материалы
610	1		\|a производство
610	1		\|a сборники
675			\|a 621.385 \|v 3
702		1	\|a Рейсман \|b А. \|g Арнольд \|4 340
702		1	\|a Роуз \|b К. \|4 340
801		1	\|a RU \|b 63413507 \|c 20071011 \|g PSBO
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20080924 \|g PSBO
942			\|c BK