Расчет и проектирование устрйств электронной и ионной литографии

Расчет и проектирование устрйств электронной и ионной литографии

Бібліографічні деталі
Автор:	Попов В. К. Виктор Кузьмич
Інші автори:	Ячменев С. Н. Станислав Николаевич
Мова:	Російська
Опубліковано:	Москва, Радио и связь, 1985
Серія:	Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры
Предмети:	расчет проектирование устройства литография электронная оптика аберрации
Формат:	Книга
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=120034

Схожі ресурси

Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур. Математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами. Курс лекций
за авторством: Юрчук С. Ю.
Опубліковано: (Москва, МИСИС, 2013)

Компьютерное моделирование нанотехнологий, наноматериалов и наноструктур: математическое моделирование фотолитографических процессов и процессов электронной литографии при создании субмикронных структур и структур с нанометровыми размерами курс лекций
за авторством: Юрчук С. Ю.
Опубліковано: (Москва, МИСИС, 2013)

Физика субмикронной литографии
за авторством: Валиев К. А. Камиль Ахметович
Опубліковано: (Москва, Наука, 1990)

Несферические поверхности в оптике. Расчет, изготовление, контроль
за авторством: Русинов М. М. Михаил Михайлович
Опубліковано: (Москва, Недра, 1992)

Проблемы литографии в микроэлектронике
Опубліковано: (Москва, Наука, 1987)

Электронная и ионная оптика: пер. с англ.
за авторством: Силадьи М. Миклош
Опубліковано: (Москва, Мир, 1990)

Теория аберраций оптических систем
за авторством: Можаров Г. А.
Опубліковано: (Санкт-Петербург, Лань, 2022)

Нелинейная оптика и обращение волнового фронта
за авторством: Дмитриев В. Г. Валентин Георгиевич
Опубліковано: (Москва, Физматлит, 2003)

Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике
за авторством: Валиев К. А. Камиль Ахметович
Опубліковано: (Москва, Радио и связь, 1984)

Проектирование и контроль оптики микроскопов
за авторством: Иванова Т. А. Татьяна Александровна
Опубліковано: (Ленинград, Машиностроение, 1984)

Теория аберраций оптических систем: учебное пособие
за авторством: Можаров Г. А. Григорий Афанасьевич
Опубліковано: (Санкт-Петербург, Лань, 2013)

Искусство литографии: практическое руководство для художников
за авторством: Суворов П. И. Петр Иванович
Опубліковано: (Москва, Искусство, 1964)

Искусство литографии: практическое руководство для художников
за авторством: Суворов П. И. Петр Иванович
Опубліковано: (Москва, Искусство, 1952)

Статическая и динамическая электронная оптика. Теория фокусировки в линзах, отклоняющих устройствах и ускорителях: пер. с англ.
за авторством: Стэррок П. А.
Опубліковано: (Москва, Изд-во иностранной литературы, 1958)

Оптимальное проектирование электронно-оптических устройств: текст лекций
за авторством: Мельников А. А. Александр Александрович
Опубліковано: (Москва, Изд-во МИРЭА, 1988)

Прикладная оптика
за авторством: Апенко М. И. Михаил Иванович
Опубліковано: (Москва, Наука, 1982)

Геометрическая оптика учебное пособие
за авторством: Можаров Г. А.
Опубліковано: (Санкт-Петербург, Лань, 2022)

Рентгеновская оптика: сборник статей
Опубліковано: (Москва, Наука, 1989)

Электронная оптика
за авторством: Вайнриб Е. А.
Опубліковано: (Москва, Госэнергоиздат, 1951)

Виды Томска и его окрестностей: каталог-альбом литографий
за авторством: Колосов М.
Опубліковано: (Томск, Изд-во ТГУ, 2015)

Основы вычислительной оптики
за авторством: Зверев В. А.
Опубліковано: (Санкт-Петербург, Лань, 2022)

Современная геометрическая оптика: перевод с английского
за авторством: Герцбергер М.
Опубліковано: (Москва, Изд-во иностранной литературы, 1962)

Основы оптики: пер. с англ.
за авторством: Борн М. Макс
Опубліковано: (Москва, Наука, 1973)

Введение в электронную оптику: пер. с англ.
за авторством: Косслет В.
Опубліковано: (Москва, Изд-во иностранной литературы, 1950)

Разработка элементов градиентной оптики и гибридных интегральных микросхем оптического и СВЧ-диапазонов: сборник научных трудов
Опубліковано: (Тула, Изд-во Тульского политехнического ин-та, 1979)

Виды Томска: каталог-альбом литографий
за авторством: Флек Ю. В. Юрий Волькмар
Опубліковано: (Томск, Изд-во ТГУ, 2015)

Теоретическое и экспериментальные исследования течения жидкостей в микрофлюидных устройствах
за авторством: Букатин А. С.
Опубліковано: (Санкт-Петербург, СПбАУ РАН им. Ж.И. Алфёрова, 2021)

Геометрическая оптика: учебное пособие
за авторством: Можаров Г. А. Григорий Афанасьевич
Опубліковано: (Санкт-Петербург, Лань, 2017)

Технология материалов и изделий электронной техники. Методические указания к практическим занятиям
за авторством: Орликов Л. Н.
Опубліковано: (Москва, ТУСУР, 2012)

Теория и расчет электронных пучков: пер. с англ.
за авторством: Пирс Дж. Р.
Опубліковано: (Москва, Советское радио, 1956)

Электронная оптика. Основы теоретической электронной оптики: пер. с нем.
за авторством: Рустерхольц А.
Опубліковано: (Москва, Изд-во иностранной литературы, 1952)

Теория оптических систем: учебное пособие для вузов
за авторством: Заказнов Н. П. Николай Петрович
Опубліковано: (Санкт-Петербург, Лань, 2016)

Т. 1; Оптика
Опубліковано: (1984)

Вычислительная оптика: справочник
Опубліковано: (Ленинград, Машиностроение, 1984)

Вычислительная оптика: справочник
Опубліковано: (Москва, Изд-во ЛКИ, 2008)

Оптика микроскопов: расчет и проектирование
за авторством: Панов В. А. Виктор Алексеевич
Опубліковано: (Ленинград, Машиностроение, 1976)

Фокусировка и разделение по массам частиц высоких энергий
за авторством: Котов В. И.
Опубліковано: (Москва, Атомиздат, 1969)

Расчет и конструирование электронных ламп
за авторством: Царев Б. М. Борис Михайлович
Опубліковано: (Москва, Энергия, 1967)

Техническая оптика: учебное пособие
за авторством: Русинов М. М. Михаил Михайлович
Опубліковано: (Москва, Либроком, 2011)

Оформление оптического выпуска на основании расчетов в программе ZEMAX учебно-методическое пособие
за авторством: Качурин Ю. Ю.
Опубліковано: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2019)