|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
120034 |
| 005 |
20231031124836.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\129955
|
| 090 |
|
|
|a 120034
|
| 100 |
|
|
|a 20070816d1985 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Расчет и проектирование устрйств электронной и ионной литографии
|f В. К. Попов, С. Н. Ячменев
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Радио и связь
|d 1985
|
| 215 |
|
|
|a 128 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры
|
| 320 |
|
|
|a Список литературы: с.124-126.
|
| 610 |
1 |
|
|a расчет
|
| 610 |
1 |
|
|a проектирование
|
| 610 |
1 |
|
|a устройства
|
| 610 |
1 |
|
|a литография
|
| 610 |
1 |
|
|a электронная оптика
|
| 610 |
1 |
|
|a аберрации
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Попов
|b В. К.
|g Виктор Кузьмич
|
| 701 |
|
1 |
|a Ячменев
|b С. Н.
|g Станислав Николаевич
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20070816
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20080326
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
