Расчет и проектирование устрйств электронной и ионной литографии

Detalhes bibliográficos
Autor principal:	Попов В. К. Виктор Кузьмич
Outros Autores:	Ячменев С. Н. Станислав Николаевич
Idioma:	russo
Publicado em:	Москва, Радио и связь, 1985
Colecção:	Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры
Assuntos:	расчет проектирование устройства литография электронная оптика аберрации
Formato:	Livro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=120034

Descrição
Descrição Física:	128 с. ил.

Registos relacionados