Расчет и проектирование устрйств электронной и ионной литографии
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Published: |
Москва, Радио и связь, 1985
|
| Series: | Библиотека технолога радиоэлектронной аппаратуры |
| Subjects: | |
| Format: | Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=120034 |
| Physical Description: | 128 с. ил. |
|---|