Ионная имплантация: сборник статей

Бібліографічні деталі
Інші автори: Хирвонен Дж. К. (редактор)
Мова:Російська
Опубліковано: Москва, Металлургия, 1985
Предмети:
Формат: Книга
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=119503