|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
119503 |
| 005 |
20231031124628.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\129335
|
| 090 |
|
|
|a 119503
|
| 100 |
|
|
|a 20070709d1985 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
1 |
|
|a rus
|c eng
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Ионная имплантация
|e сборник статей
|f под ред. Дж. К. Хирвонена
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Металлургия
|d 1985
|
| 215 |
|
|
|a 392 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиография в конце статей
|
| 610 |
1 |
|
|a металлургия
|
| 610 |
1 |
|
|a металлы
|
| 610 |
1 |
|
|a легирование
|
| 610 |
1 |
|
|a ионное легирование
|
| 610 |
1 |
|
|a ионная имплантация
|
| 675 |
|
|
|a 669.046
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Хирвонен
|b Дж. К.
|4 340
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20070709
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20080922
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|