Ионная имплантация: сборник статей
| Other Authors: | |
|---|---|
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва, Металлургия, 1985
|
| Subjects: | |
| Format: | Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=119503 |
| Physical Description: | 392 с. ил. |
|---|