MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 116302
005 20231031123148.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\125858 
090 |a 116302 
100 |a 20070519d1976 m y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Химическое газофазное осаждение тугоплавких неорганических материалов  |e сборник статей  |f Государственный институт прикладной химии ; под ред. В. С. Шпака, Р. Г. Аварбэ 
210 |a Ленинград  |c ГИПХ  |d 1976 
215 |a 104 с.  |c ил. 
320 |a Библиогр. в конце ст. 
610 1 |a тугоплавкие соединения 
610 1 |a газовые фазы 
610 1 |a осаждение 
610 1 |a сборники 
610 1 |a процессы 
610 1 |a физико-химические основы 
675 |a 661.6.018  |v 3 
702 1 |a Шпак  |b В. С.  |g Владимир Степанович  |4 340 
702 1 |a Аварбэ  |b Р. Г.  |4 340 
712 0 2 |a Государственный институт прикладной химии  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\1662 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20070519  |g PSBO 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20180305  |g RCR 
942 |c BK