MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 116164
005 20231101215318.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\125709 
090 |a 116164 
100 |a 20070518d1980 km y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a BY 
105 |a a z 000zy 
200 1 |a Зарядовые свойства МОП-структур  |f Л. И. Гурский, Н. В. Румак, В. В. Куксо  |g под ред. А. П. Достанко 
210 |a Минск  |c Наука и техника  |d 1980 
215 |a 200 с.  |c ил. 
320 |a Библиогр.: с. 191-199 
606 1 |a Полупроводниковые приборы с зарядовой связью  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\50716  |9 69366 
610 1 |a МОП-структуры 
610 1 |a физические основы 
610 1 |a технологические основы 
610 1 |a система кремний-двуокись кремния 
610 1 |a примеси 
610 1 |a электрофизические свойства 
610 1 |a МДП-структуры 
610 1 |a кремний 
610 1 |a термическое окисление 
610 1 |a галогенсодержащие вещества 
675 |a 621.382.049.774  |v 4 
700 1 |a Гурский  |b Л. И.  |g Леонид Ильич 
701 1 |a Румак  |b Н. В.  |g Николай Владимирович 
701 1 |a Куксо  |b В. В.  |g Вячеслав Викторович 
702 1 |a Достанко  |b А. П.  |4 340 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20070511  |g PSBO 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20210419  |g PSBO 
942 |c BK