Ступени роста и процессы на фронте кристаллизации при газофазовой эпитаксии полупроводников А В, автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук

Bibliographic Details
Main Author:	Ивонин И. В. Иван Варфоломеевич
Language:	Russian
Published:	Новосибирск, [Б. и.], 1998
Subjects:	электроника эпитаксиальные технологии полупроводники кристаллизация авторефераты диссертаций
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=11531

MARC


LEADER	00000nam0a2200000 4500
001	11531
005	20231030183748.0
035			\|a (RuTPU)RU\TPU\book\11603
035			\|a BOOK00011669
090			\|a 11531
100			\|a 20011209d1998 k y0rusy50 ca
101	0		\|a rus
102			\|a RU
105			\|a y dm 000zy
200	1		\|a Ступени роста и процессы на фронте кристаллизации при газофазовой эпитаксии полупроводников А В \|e автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук \|f И. В. Ивонин
210			\|a Новосибирск \|c [Б. и.] \|d 1998
215			\|a 32 с.
610	1		\|a электроника
610	1		\|a эпитаксиальные технологии
610	1		\|a полупроводники
610	1		\|a кристаллизация
610	1		\|a авторефераты диссертаций
675			\|a 539.2:537(04) \|v 3
700		1	\|a Ивонин \|b И. В. \|g Иван Варфоломеевич
801		0	\|a RU \|b 63413507 \|c 20011209 \|g PSBO
801		2	\|a RU \|b 63413507 \|c 20120907 \|g PSBO
942			\|c BK