Кремний - материал наноэлектроники учебное пособие
| Главный автор: | |
|---|---|
| Другие авторы: | |
| Примечания: | Монография посвящена рассмотрению проблем и возможностей использования кремния для создания приборов и устройств наноэлектроники и нанофотоники. Даны представления о квантоворазмерных эффектах, возможности их проявления в кремниевых элементах и структурах, а также физических ограничениях. Рассмотрены наиболее перспективные технологические возможности формирования наноразмерных кремниевых структур. |
| Опубликовано: |
Москва, Техносфера, 2007
|
| Серии: | Мир материалов и технологий |
| Предметы: | |
| Формат: | Книга |
| Запись в KOHA: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=114150 |