|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
114150 |
| 005 |
20231101215156.0 |
| 010 |
|
|
|a 9785948361017
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\123450
|
| 090 |
|
|
|a 114150
|
| 100 |
|
|
|a 20070419d2007 m y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a j 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Кремний - материал наноэлектроники
|e учебное пособие
|f Н. Н. Герасименко, Ю. Н. Пархоменко
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Техносфера
|d 2007
|
| 215 |
|
|
|a 352 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Мир материалов и технологий
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце глав.
|
| 330 |
|
|
|a Монография посвящена рассмотрению проблем и возможностей использования кремния для создания приборов и устройств наноэлектроники и нанофотоники. Даны представления о квантоворазмерных эффектах, возможности их проявления в кремниевых элементах и структурах, а также физических ограничениях. Рассмотрены наиболее перспективные технологические возможности формирования наноразмерных кремниевых структур.
|
| 606 |
1 |
|
|a Кремний
|x Электрофизические свойства
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\16179
|9 42347
|
| 606 |
1 |
|
|a Наноэлектроника
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\58929
|9 76611
|
| 610 |
1 |
|
|a физические принципы
|
| 610 |
1 |
|
|a квантовые точки
|
| 610 |
1 |
|
|a электронные спектры
|
| 610 |
1 |
|
|a кремниевая одноэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a оптические свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a фотоэлектрические свойства
|
| 610 |
1 |
|
|a квантово-размерные структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводниковые соединения
|
| 610 |
1 |
|
|a проводящие соединения
|
| 610 |
1 |
|
|a синтез
|
| 610 |
1 |
|
|a полупроводники
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхности
|
| 610 |
1 |
|
|a ионное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a наноразмерные структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a нанокристаллы
|
| 610 |
1 |
|
|a получение
|
| 610 |
1 |
|
|a ионная имплантация
|
| 610 |
1 |
|
|a кремниевая наноэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a перспективы
|
| 610 |
1 |
|
|a учебные пособия
|
| 675 |
|
|
|a 537.311.322:546(075.8)
|v 3
|
| 675 |
|
|
|a 621.382:53(075.8)
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Герасименко
|b Н. Н.
|g Николай Николаевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Пархоменко
|b Ю. Н.
|g Юрий Николаевич
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20070419
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20161107
|g PSBO
|
| 900 |
|
|
|a Физические методы синтеза и модифицирования нанокристаллических материалов
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
| 959 |
|
|
|a 32/20070419
|d 1
|e 425,00
|f ЧЗТЛ:1
|
| 959 |
|
|
|a 32/20090310
|d 1
|e 250,00
|f АНЛ:1
|
