Кремний - материал наноэлектроники учебное пособие
| 主要作者: | |
|---|---|
| 其他作者: | |
| 總結: | Монография посвящена рассмотрению проблем и возможностей использования кремния для создания приборов и устройств наноэлектроники и нанофотоники. Даны представления о квантоворазмерных эффектах, возможности их проявления в кремниевых элементах и структурах, а также физических ограничениях. Рассмотрены наиболее перспективные технологические возможности формирования наноразмерных кремниевых структур. |
| 出版: |
Москва, Техносфера, 2007
|
| 叢編: | Мир материалов и технологий |
| 主題: | |
| 格式: | 圖書 |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=114150 |
| 實物描述: | 352 с. ил. |
|---|---|
| 總結: | Монография посвящена рассмотрению проблем и возможностей использования кремния для создания приборов и устройств наноэлектроники и нанофотоники. Даны представления о квантоворазмерных эффектах, возможности их проявления в кремниевых элементах и структурах, а также физических ограничениях. Рассмотрены наиболее перспективные технологические возможности формирования наноразмерных кремниевых структур. |
| ISBN: | 9785948361017 |