Кремний - материал наноэлектроники учебное пособие
| Автор: | |
|---|---|
| Інші автори: | |
| Резюме: | Монография посвящена рассмотрению проблем и возможностей использования кремния для создания приборов и устройств наноэлектроники и нанофотоники. Даны представления о квантоворазмерных эффектах, возможности их проявления в кремниевых элементах и структурах, а также физических ограничениях. Рассмотрены наиболее перспективные технологические возможности формирования наноразмерных кремниевых структур. |
| Опубліковано: |
Москва, Техносфера, 2007
|
| Серія: | Мир материалов и технологий |
| Предмети: | |
| Формат: | Книга |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=114150 |
| Фізичний опис: | 352 с. ил. |
|---|---|
| Резюме: | Монография посвящена рассмотрению проблем и возможностей использования кремния для создания приборов и устройств наноэлектроники и нанофотоники. Даны представления о квантоворазмерных эффектах, возможности их проявления в кремниевых элементах и структурах, а также физических ограничениях. Рассмотрены наиболее перспективные технологические возможности формирования наноразмерных кремниевых структур. |
| ISBN: | 9785948361017 |