Кремний - материал наноэлектроники учебное пособие

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلف الرئيسي: Герасименко Н. Н. Николай Николаевич
مؤلفون آخرون: Пархоменко Ю. Н. Юрий Николаевич
الملخص:Монография посвящена рассмотрению проблем и возможностей использования кремния для создания приборов и устройств наноэлектроники и нанофотоники. Даны представления о квантоворазмерных эффектах, возможности их проявления в кремниевых элементах и структурах, а также физических ограничениях. Рассмотрены наиболее перспективные технологические возможности формирования наноразмерных кремниевых структур.
منشور في: Москва, Техносфера, 2007
سلاسل:Мир материалов и технологий
الموضوعات:
التنسيق: كتاب
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=114150
الوصف
وصف مادي:352 с. ил.
الملخص:Монография посвящена рассмотрению проблем и возможностей использования кремния для создания приборов и устройств наноэлектроники и нанофотоники. Даны представления о квантоворазмерных эффектах, возможности их проявления в кремниевых элементах и структурах, а также физических ограничениях. Рассмотрены наиболее перспективные технологические возможности формирования наноразмерных кремниевых структур.
ردمك:9785948361017