|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
109905 |
| 005 |
20231101214912.0 |
| 010 |
|
|
|a 5922106953
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\118694
|
| 090 |
|
|
|a 109905
|
| 100 |
|
|
|a 20070215d2006 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе
|f Н. И. Татаренко, В. Ф. Кравченко
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Физматлит
|d 2006
|
| 215 |
|
|
|a 192 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 178-192.
|
| 330 |
|
|
|a В книге дан анализ современного состояния и тенденций развития вакуумной микро- и наноэлектроники. Рассмотрены физико-химические основы процесса создания нового класса автоэмиссионных наноструктур на базе нанопористого анодного оксида алюминия. Приведены результаты исследований их геометрических параметров, элементного состава и эмиссионных характеристик. Представлена принципиально новая интегральная технология создания наноструктурных автоэлектронных микроприборов и систем их межсоединений на основе тонких пленок вентильных металлов и их анодных оксидов. Изложены физические основы процедуры моделирования и расчета характеристик этих микроприборов. Приведены их экспериментальные и расчетные характеристики. Предназначается для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся в области физической электроники, микро- и наноэлектроники.
|
| 606 |
1 |
|
|a Автоэлектронная эмиссия
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\1430
|9 30210
|
| 606 |
1 |
|
|a Тонкопленочная технология
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\subj\60919
|9 78140
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуумные автоэлектронные приборы
|
| 610 |
1 |
|
|a автоэмиссия
|
| 610 |
1 |
|
|a создание
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкопленочные наноструктурные микроприборы
|
| 610 |
1 |
|
|a характеристика
|
| 610 |
1 |
|
|a моделирование
|
| 610 |
1 |
|
|a расчет
|
| 610 |
1 |
|
|a физические основы
|
| 610 |
1 |
|
|a диодные структуры
|
| 610 |
1 |
|
|a катодно-сточные элементы
|
| 610 |
1 |
|
|a триодные структуры
|
| 675 |
|
|
|a 537.533.2
|v 3
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.772
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Татаренко
|b Н. И.
|g Николай Иванович
|
| 701 |
|
1 |
|a Кравченко
|b В. Ф.
|g Виктор Филиппович
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20070215
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150520
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
| 959 |
|
|
|a 17/20070215
|d 1
|e 330,00
|
