Технология материалов и изделий электронной техники. Методические указания к практическим занятиям
| Main Author: | |
|---|---|
| Summary: | Целью настоящего пособия является углубление понимания процессов, происходящих при формировании материалов и изделий. Уделяется внимание процессам обеспечения вакуума при формировании нанослоев, процессам подготовки изделий к технологическим операциям. Рассматриваются варианты задач по осаждению пленок и сорбционно-десорбционным процессам, сопровождающим формирование покрытий в вакууме. Пособие предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника» (специальность «Электронные приборы и устройства» по дисциплине «Технология материалов и изделий электронной техники». Книга из коллекции ТУСУР - Инженерно-технические науки |
| Published: |
Москва, ТУСУР, 2012
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://e.lanbook.com/books/element.php?pl1_cid=25&pl1_id=10900 https://e.lanbook.com/img/cover/book/10900.jpg |
| Format: | Electronic Book |
| Physical Description: | 31 с. |
|---|---|
| Summary: | Целью настоящего пособия является углубление понимания процессов, происходящих при формировании материалов и изделий. Уделяется внимание процессам обеспечения вакуума при формировании нанослоев, процессам подготовки изделий к технологическим операциям. Рассматриваются варианты задач по осаждению пленок и сорбционно-десорбционным процессам, сопровождающим формирование покрытий в вакууме. Пособие предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению «Электроника и микроэлектроника» (специальность «Электронные приборы и устройства» по дисциплине «Технология материалов и изделий электронной техники». Книга из коллекции ТУСУР - Инженерно-технические науки |