Вакуумные, плазменные приборы и устройства. Методические указания по самостоятельной работе - Аксенов А. И. (Москва, ТУСУР, 2012)
Самостоятельная работа направлена на углубление знаний дисциплины и предполагает обобщение изучаемых тем, а темы для самостоятельной проработки обобщают приобретенные знания и позволяют студенту самостоятельно решать задачи, возникающие при внедрении передовых технологий в производстве. Отдельные фрагменты тем могут составлять предмет научных исследований. Пособие предназначено для студентов очной и заочной форм, обучающихся по направлению 210100 - «Электроника и микроэлектроника», специальность 210105 - «Электронные приборы» по дисциплине «Вакуумные и плазменные приборы и устройства».