|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
108180 |
| 005 |
20231031115545.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\116773
|
| 090 |
|
|
|a 108180
|
| 100 |
|
|
|a 20070116d2003 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Исследование параметров электролизного насыщения кремния водородом
|f А. Н. Головко, Н. Н. Никитенков
|
| 463 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\62675
|y 5-98298-044-7
|t Университетская научно-практическая отчетная конференция студентов и молодых ученых; 14-16 мая 2003, г. Томск
|o Сборник тезисов
|f Томский политехнический университет. Физико-технический факультет
|v С. 48
|d 2003
|p 58 с.
|
| 610 |
1 |
|
|a водород
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 610 |
1 |
|
|a электролиз
|
| 610 |
1 |
|
|a насыщение
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 700 |
|
1 |
|a Головко
|b А. Н.
|
| 701 |
|
1 |
|a Никитенков
|b Н. Н.
|c российский физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1953-
|g Николай Николаевич
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25364
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20070116
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20150911
|g RCR
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
