MARC

LEADER 00000nam0a2200000 4500
001 107270
005 20231101214723.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\book\115820 
090 |a 107270 
100 |a 20061220d1975 m y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a a z 001zy 
200 1 |a Вакуумное нанесение пленок в квазизамкнутом объеме  |f Ю. З. Бубнов [и др.] 
210 |a Москва  |c Советское радио  |d 1975 
215 |a 160 с.  |c ил. 
320 |a Библиогр.: с. 153-159. 
606 1 |a Волоконная оптика  |x (физика твердого тела)  |2 stltpush  |3 (RuTPU)RU\TPU\subj\3633  |9 32021 
610 1 |a тонкие пленки 
610 1 |a получение 
610 1 |a вакуум 
610 1 |a конденсаты 
610 1 |a электрофизические свойства 
675 |a 539.216  |v 3 
701 1 |a Бубнов  |b Ю. З.  |g Юрий Захарович 
701 1 |a Лурье  |b М. С. 
701 1 |a Старос  |b Ф. Г. 
701 1 |a Филаретов  |b Г. А. 
801 1 |a RU  |b 63413507  |c 20061220  |g PSBO 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20170830  |g PSBO 
942 |c BK