Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии

Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии

Bibliografiset tiedot
Yhteisötekijä:	Российская академия наук (РАН) Институт общей физики им. А. М. Прохорова (ИОФ)
Muut tekijät:	Новиков Ю. А. (редактор)
Yhteenveto:	Представлены результаты фундаментальных и прикладных научных исследований и разработок по решению проблемы измерений линейных размеров в микрометровом и нанометровом диапазонах (1 им - 100 мкм), осваиваемых микроэлектроникой и нанотехнологией. Создана единая концепция передачи размера единицы длины от Государственного первичного эталона метра потребителю в нанометровый диапазон без существенной потери точности. Описаны системы на основе растровых электронных и атомно-силовых микроскопов, реализующих эту концепцию. Сборник предназначен для научных работников и специалистов, работающих в наукоемких отраслях промышленности, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся в области микроэлектроники и нанотехнологии.
Kieli:	venäjä
Julkaistu:	Москва, Наука, 2006
Sarja:	Труды Института общей физики (ИОФАН) Т. 62
Aiheet:	микроэлектроника нанотехнология нанометрология лазерные измерители растровая электронная микроскопия атомно-силовые микроскопы электронные микроскопы электронные зонды геометрические характеристики измерения линейные измерения
Aineistotyyppi:	Kirja
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=107155

Samankaltaisia teoksia

Растровая оптическая микроскопия
Tekijä: Дюков Валентин Георгиевич
Julkaistu: (Москва, Наука, 1992)

Основы сканирующей зондовой микроскопии: учебное пособие
Tekijä: Миронов В. Л.
Julkaistu: (Москва, Техносфера, 2004)

Методы локального анализа иэлектронная микроскопия Учебное пособие
Tekijä: Ищенко А. А.
Julkaistu: (Москва, РТУ МИРЭА, 2021)

Электронные измерения в нанотехнологиях и микроэлектронике
Tekijä: Афонский А. А.
Julkaistu: (Москва, ДМК Пресс, 2011)

Техническая микроскопия. Практика работы с микроскопами для технических целей
Tekijä: Егорова О. В. Ольга Владимировна
Julkaistu: (Москва, Техносфера, 2007)

Электронная микроскопия
Julkaistu: (Москва, Гостехиздат, 1954)

Устройство точного позиционирования зонда для сканирующих зондовых микроскопов; Приборы и техника эксперимента; № 3
Tekijä: Жахарев А. В.
Julkaistu: (2003)

Конфокальная микроскопия и ультрамикроскопия живой клетки
Tekijä: Свищев Г. М.
Julkaistu: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2011)

Растровая электронная микроскопия для нанотехнологий. Методы и применение: пер. с англ.
Julkaistu: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2013)

Физические принципы электронной микроскопии. Введение в просвечивающую, растровую и аналитическую электронную микроскопию: пер. с англ.
Tekijä: Эгертон Р. Ф. Рэй Ф.
Julkaistu: (Москва, Техносфера, 2010)

Электронно-зондовый микроанализ и растровая электронная микроскопия в геологии: пер. с англ.
Tekijä: Рид С. Дж. Б.
Julkaistu: (Москва, Техносфера, 2008)

Возможности электронного микроскопа для решения минералогических и петрографических задач; Проблемы геологии и освоения недр
Tekijä: Анищук Н. К.
Julkaistu: (2009)

Просвечивающая электронная микроскопия
Tekijä: Пилянкевич А. Н. Александр Николаевич
Julkaistu: (Киев, Наукова думка, 1975)

Аналитическая просвечивающая электронная микроскопия: пер. с англ.
Tekijä: Синдо Д Дайзуке
Julkaistu: (Москва, Техносфера, 2006)

Сила нанотехнологий: наука&бизнес
Tekijä: Андрюшин Е. А. Евгений Александрович
Julkaistu: (Фрязино, Успехи физики, 2007)

Введение в нанотехнологию: пер. с яп.
Tekijä: Кобаяси Н. Наоя
Julkaistu: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2005)

Введение в нанотехнологию: пер. с яп.
Tekijä: Кобаяси Н. Наоя
Julkaistu: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2007)

Основы сканирующей зондовой микроскопии: учебное пособие для студентов старших курсов высших учебных заведений
Tekijä: Миронов В. Л. Виктор Леонидович
Julkaistu: (Нижний Новгород, ИФМ РАН, 2004)

Основы нанотехнологий
Tekijä: Головин Ю. И. Юрий Иванович
Julkaistu: (Москва, Машиностроение, 2012)

Справочник по микроскопии для нанотехнологии: пер. с англ.
Julkaistu: (Москва, Научный мир, 2011)

Сканирующая зондовая микроскопия поверхности твердых тел и связанные с ней технологии: учебное пособие
Tekijä: Кузнецов П. В. Павел Викторович
Julkaistu: (Томск, Изд-во ТПУ, 2003)

Электронное устройство для переноса изображения с помощью лазерного проекционного микроскопа; Современные техника и технологии; Т. 1
Tekijä: Карюгин К. Л.
Julkaistu: (2013)

Техника микроскопии биологических клеток: учебное пособие
Julkaistu: (Томск, Изд-во ТПУ, 2009)

A mirror based scheme of a laser projection microscope; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 124 : Mechanical Engineering, Automation and Control Systems (MEACS2015)
Tekijä: Gubarev F. A. Fedor Aleksandrovich
Julkaistu: (2016)

Дифракционная электронная микроскопия в металловедении
Tekijä: Утевский Л. М. Лев Маркович
Julkaistu: (Москва, Металлургия, 1973)

Электронное устройство для переноса изображения с помощью лазерного проекционного микроскопа; Вестник науки Сибири; № 1 (11)
Julkaistu: (2014)

Основы электронной микроскопии: учебное пособие для вузов
Tekijä: Бушнев Л. С. Лев Сергеевич
Julkaistu: (Томск, Изд-во Том. ун-та, 1990)

Электронная микроскопия тонких кристаллов: пер. с англ.
Julkaistu: (Москва, Мир, 1968)

Визуализация с помощью лазерного монитора взаимодействия лазерного излучения с поверхностью стекло- и пироуглерода; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 312, № 2 : Математика и механика. Физика
Julkaistu: (2008)

Метод оценки толщины ультратонких плёнок; Приборы и техника эксперимента; № 3
Tekijä: Стогний А. И.
Julkaistu: (2003)

Трехмерная электронная микроскопия в реальном времени: учебное пособие; пер. с англ.
Tekijä: Зевайль А. Ахмед
Julkaistu: (Долгопрудный, Интеллект, 2013)

Рудная микроскопия: современные методы исследования рудных минералов под микроскопом; пер. с англ.
Tekijä: Кэмерон К. Ю. К. Юджин
Julkaistu: (Москва, Мир, 1966)

Investigation of active optical systems for remote object visualization; Micro/Nanotechnologies and Electron Devices (EDM)
Tekijä: Trigub M. V. Maksim Viktorovich
Julkaistu: (2015)

Микроскопические методы исследования материалов
Tekijä: Кларк Э. Р.
Julkaistu: (Москва, Техносфера, 2007)

Up-dated ore composition data (Central orefield, Kuznetsk Alatau); MATEC Web of Conferences; Vol. 85 : Chemistry and Chemical Technology in XXI Century (CCT 2016)
Julkaistu: (2016)

Измерение модуля Юнга сверхтвёрдых материалов с помощью сканирующего зондового микроскопа "НаноСкан"; Приборы и техника эксперимента; № 1
Tekijä: Усеинов А. С.
Julkaistu: (2004)

Металлографические исследования при помощи электронного микроскопа: статья
Tekijä: Барретт Ч.
Julkaistu: (Москва, [1944])

Окно в невидимое (электронный микроскоп)
Tekijä: Кушнир Ю. М.
Julkaistu: (Молотов, Молотовское областное издательство, 1949)

Methods of diagnostics and analysis of nanosystems: Laboratory practical course
Tekijä: Shevchenko I. M.
Julkaistu: (Ставрополь, СКФУ, 2023)

Acoustic Emission Diagnostics of the Destruction of Welded Joints Stainless Steel Pipes Arising Welding; Applied Mechanics and Materials; Vol. 770 : Urgent Problems of Up-to-Date Mechanical Engineering
Tekijä: Apasov A. M. Aleksandr Mikhailovich
Julkaistu: (2015)