Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии

Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии

Библиографические подробности
Автор-организация:	Российская академия наук (РАН) Институт общей физики им. А. М. Прохорова (ИОФ)
Другие авторы:	Новиков Ю. А. (редактор)
Примечания:	Представлены результаты фундаментальных и прикладных научных исследований и разработок по решению проблемы измерений линейных размеров в микрометровом и нанометровом диапазонах (1 им - 100 мкм), осваиваемых микроэлектроникой и нанотехнологией. Создана единая концепция передачи размера единицы длины от Государственного первичного эталона метра потребителю в нанометровый диапазон без существенной потери точности. Описаны системы на основе растровых электронных и атомно-силовых микроскопов, реализующих эту концепцию. Сборник предназначен для научных работников и специалистов, работающих в наукоемких отраслях промышленности, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся в области микроэлектроники и нанотехнологии.
Язык:	русский
Опубликовано:	Москва, Наука, 2006
Серии:	Труды Института общей физики (ИОФАН) Т. 62
Предметы:	микроэлектроника нанотехнология нанометрология лазерные измерители растровая электронная микроскопия атомно-силовые микроскопы электронные микроскопы электронные зонды геометрические характеристики измерения линейные измерения
Формат:	Книга
Запись в KOHA:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=107155

Схожие документы

Растровая оптическая микроскопия
по: Дюков Валентин Георгиевич
Опубликовано: (Москва, Наука, 1992)

Основы сканирующей зондовой микроскопии: учебное пособие
по: Миронов В. Л.
Опубликовано: (Москва, Техносфера, 2004)

Методы локального анализа иэлектронная микроскопия Учебное пособие
по: Ищенко А. А.
Опубликовано: (Москва, РТУ МИРЭА, 2021)

Электронные измерения в нанотехнологиях и микроэлектронике
по: Афонский А. А.
Опубликовано: (Москва, ДМК Пресс, 2011)

Техническая микроскопия. Практика работы с микроскопами для технических целей
по: Егорова О. В. Ольга Владимировна
Опубликовано: (Москва, Техносфера, 2007)

Электронная микроскопия
Опубликовано: (Москва, Гостехиздат, 1954)

Устройство точного позиционирования зонда для сканирующих зондовых микроскопов; Приборы и техника эксперимента; № 3
по: Жахарев А. В.
Опубликовано: (2003)

Конфокальная микроскопия и ультрамикроскопия живой клетки
по: Свищев Г. М.
Опубликовано: (Москва, ФИЗМАТЛИТ, 2011)

Растровая электронная микроскопия для нанотехнологий. Методы и применение: пер. с англ.
Опубликовано: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2013)

Физические принципы электронной микроскопии. Введение в просвечивающую, растровую и аналитическую электронную микроскопию: пер. с англ.
по: Эгертон Р. Ф. Рэй Ф.
Опубликовано: (Москва, Техносфера, 2010)

Электронно-зондовый микроанализ и растровая электронная микроскопия в геологии: пер. с англ.
по: Рид С. Дж. Б.
Опубликовано: (Москва, Техносфера, 2008)

Возможности электронного микроскопа для решения минералогических и петрографических задач; Проблемы геологии и освоения недр
по: Анищук Н. К.
Опубликовано: (2009)

Аналитическая просвечивающая электронная микроскопия: пер. с англ.
по: Синдо Д Дайзуке
Опубликовано: (Москва, Техносфера, 2006)

Просвечивающая электронная микроскопия
по: Пилянкевич А. Н. Александр Николаевич
Опубликовано: (Киев, Наукова думка, 1975)

Введение в нанотехнологию: пер. с яп.
по: Кобаяси Н. Наоя
Опубликовано: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2005)

Введение в нанотехнологию: пер. с яп.
по: Кобаяси Н. Наоя
Опубликовано: (Москва, БИНОМ. Лаборатория знаний, 2007)

Сила нанотехнологий: наука&бизнес
по: Андрюшин Е. А. Евгений Александрович
Опубликовано: (Фрязино, Успехи физики, 2007)

Основы сканирующей зондовой микроскопии: учебное пособие для студентов старших курсов высших учебных заведений
по: Миронов В. Л. Виктор Леонидович
Опубликовано: (Нижний Новгород, ИФМ РАН, 2004)

Справочник по микроскопии для нанотехнологии: пер. с англ.
Опубликовано: (Москва, Научный мир, 2011)

Основы нанотехнологий
по: Головин Ю. И. Юрий Иванович
Опубликовано: (Москва, Машиностроение, 2012)

Сканирующая зондовая микроскопия поверхности твердых тел и связанные с ней технологии: учебное пособие
по: Кузнецов П. В. Павел Викторович
Опубликовано: (Томск, Изд-во ТПУ, 2003)

Электронное устройство для переноса изображения с помощью лазерного проекционного микроскопа; Современные техника и технологии; Т. 1
по: Карюгин К. Л.
Опубликовано: (2013)

Техника микроскопии биологических клеток: учебное пособие
Опубликовано: (Томск, Изд-во ТПУ, 2009)

A mirror based scheme of a laser projection microscope; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 124 : Mechanical Engineering, Automation and Control Systems (MEACS2015)
по: Gubarev F. A. Fedor Aleksandrovich
Опубликовано: (2016)

Дифракционная электронная микроскопия в металловедении
по: Утевский Л. М. Лев Маркович
Опубликовано: (Москва, Металлургия, 1973)

Электронное устройство для переноса изображения с помощью лазерного проекционного микроскопа; Вестник науки Сибири; № 1 (11)
Опубликовано: (2014)

Электронная микроскопия тонких кристаллов: пер. с англ.
Опубликовано: (Москва, Мир, 1968)

Основы электронной микроскопии: учебное пособие для вузов
по: Бушнев Л. С. Лев Сергеевич
Опубликовано: (Томск, Изд-во Том. ун-та, 1990)

Основы современной микроскопии учебное пособие
по: Стельмащук О. А.
Опубликовано: (Орел, ОГУ имени И.С. Тургенева, 2025)

Визуализация с помощью лазерного монитора взаимодействия лазерного излучения с поверхностью стекло- и пироуглерода; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 312, № 2 : Математика и механика. Физика
Опубликовано: (2008)

Трехмерная электронная микроскопия в реальном времени: учебное пособие; пер. с англ.
по: Зевайль А. Ахмед
Опубликовано: (Долгопрудный, Интеллект, 2013)

Метод оценки толщины ультратонких плёнок; Приборы и техника эксперимента; № 3
по: Стогний А. И.
Опубликовано: (2003)

Рудная микроскопия: современные методы исследования рудных минералов под микроскопом; пер. с англ.
по: Кэмерон К. Ю. К. Юджин
Опубликовано: (Москва, Мир, 1966)

Микроскопические методы исследования материалов
по: Кларк Э. Р.
Опубликовано: (Москва, Техносфера, 2007)

Up-dated ore composition data (Central orefield, Kuznetsk Alatau); MATEC Web of Conferences; Vol. 85 : Chemistry and Chemical Technology in XXI Century (CCT 2016)
Опубликовано: (2016)

Investigation of active optical systems for remote object visualization; Micro/Nanotechnologies and Electron Devices (EDM)
по: Trigub M. V. Maksim Viktorovich
Опубликовано: (2015)

Окно в невидимое (электронный микроскоп)
по: Кушнир Ю. М.
Опубликовано: (Молотов, Молотовское областное издательство, 1949)

Methods of diagnostics and analysis of nanosystems: Laboratory practical course
по: Shevchenko I. M.
Опубликовано: (Ставрополь, СКФУ, 2023)

Acoustic Emission Diagnostics of the Destruction of Welded Joints Stainless Steel Pipes Arising Welding; Applied Mechanics and Materials; Vol. 770 : Urgent Problems of Up-to-Date Mechanical Engineering
по: Apasov A. M. Aleksandr Mikhailovich
Опубликовано: (2015)

Металлографические исследования при помощи электронного микроскопа: статья
по: Барретт Ч.
Опубликовано: (Москва, [1944])