Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии
| সংস্থা লেখক: | |
|---|---|
| অন্যান্য লেখক: | |
| সংক্ষিপ্ত: | Представлены результаты фундаментальных и прикладных научных исследований и разработок по решению проблемы измерений линейных размеров в микрометровом и нанометровом диапазонах (1 им - 100 мкм), осваиваемых микроэлектроникой и нанотехнологией. Создана единая концепция передачи размера единицы длины от Государственного первичного эталона метра потребителю в нанометровый диапазон без существенной потери точности. Описаны системы на основе растровых электронных и атомно-силовых микроскопов, реализующих эту концепцию. Сборник предназначен для научных работников и специалистов, работающих в наукоемких отраслях промышленности, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся в области микроэлектроники и нанотехнологии. |
| ভাষা: | রুশ |
| প্রকাশিত: |
Москва, Наука, 2006
|
| মালা: | Труды Института общей физики (ИОФАН) Т. 62 |
| বিষয়গুলি: | |
| বিন্যাস: | গ্রন্থ |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=107155 |