Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии - Новиков Ю. А. (Труды Института общей физики (ИОФАН) Т. 62)
Представлены результаты фундаментальных и прикладных научных исследований и разработок по решению проблемы измерений линейных размеров в микрометровом и нанометровом диапазонах (1 им - 100 мкм), осваиваемых микроэлектроникой и нанотехнологией. Создана единая концепция передачи размера единицы длины от Государственного первичного эталона метра потребителю в нанометровый диапазон без существенной потери точности. Описаны системы на основе растровых электронных и атомно-силовых микроскопов, реализующих эту концепцию. Сборник предназначен для научных работников и специалистов, работающих в наукоемких отраслях промышленности, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся в области микроэлектроники и нанотехнологии.