|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
107155 |
| 005 |
20231031115200.0 |
| 010 |
|
|
|a 5020341304
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\115696
|
| 090 |
|
|
|a 107155
|
| 100 |
|
|
|a 20061219d2006 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии
|f Российская академия наук (РАН), Институт общей физики им. А. М. Прохорова (ИОФ) ; отв. ред. Ю. А. Новиков
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Наука
|d 2006
|
| 215 |
|
|
|a 148 с.
|c ил.
|
| 225 |
1 |
|
|a Труды Института общей физики (ИОФАН)
|v Т. 62
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр. в конце ст.
|
| 330 |
|
|
|a Представлены результаты фундаментальных и прикладных научных исследований и разработок по решению проблемы измерений линейных размеров в микрометровом и нанометровом диапазонах (1 им - 100 мкм), осваиваемых микроэлектроникой и нанотехнологией. Создана единая концепция передачи размера единицы длины от Государственного первичного эталона метра потребителю в нанометровый диапазон без существенной потери точности. Описаны системы на основе растровых электронных и атомно-силовых микроскопов, реализующих эту концепцию. Сборник предназначен для научных работников и специалистов, работающих в наукоемких отраслях промышленности, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся в области микроэлектроники и нанотехнологии.
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a нанотехнология
|
| 610 |
1 |
|
|a нанометрология
|
| 610 |
1 |
|
|a лазерные измерители
|
| 610 |
1 |
|
|a растровая электронная микроскопия
|
| 610 |
1 |
|
|a атомно-силовые микроскопы
|
| 610 |
1 |
|
|a электронные микроскопы
|
| 610 |
1 |
|
|a электронные зонды
|
| 610 |
1 |
|
|a геометрические характеристики
|
| 610 |
1 |
|
|a измерения
|
| 610 |
1 |
|
|a линейные измерения
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77
|v 3
|
| 675 |
|
|
|a 620.3
|v 3
|
| 702 |
|
1 |
|a Новиков
|b Ю. А.
|4 340
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Российская академия наук (РАН)
|b Институт общей физики им. А. М. Прохорова (ИОФ)
|c (Москва)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\303
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20061219
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20120420
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
