Российская академия наук (РАН) Институт общей физики им. А. М. Прохорова (ИОФ) & Новиков Ю. А. (2006). Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии. Москва, Наука, 2006.
Chicago Style (17th ed.) CitationРоссийская академия наук (РАН) Институт общей физики им. А. М. Прохорова (ИОФ) and Новиков Ю. А. Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии. Москва, Наука, 2006, 2006.
MLA (9th ed.) CitationРоссийская академия наук (РАН) Институт общей физики им. А. М. Прохорова (ИОФ) and Новиков Ю. А. Линейные измерения микрометрового и нанометрового диапазонов в микроэлектронике и нанотехнологии. Москва, Наука, 2006, 2006.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.