Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы

Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы

Opis bibliograficzny
1. autor:	Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Kolejni autorzy:	Столяров А. А. Александр Александрович
Streszczenie:	Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов. Рассмотрены параметры оборудования для реализации процессов ХОГФ и проведен анализ его возможностей, достоинств и недостатков при осаждении функциональных слоев микросхем. Приведены основные электрофизические характеристики осаждаемых пленок. Для инженеров-технологов и научных работников, использующих в своей практической работе химическое осаждение пленок из газовой фазы. Книга может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям вузов.
Język:	rosyjski
Wydane:	Москва, Техносфера, 2006
Seria:	Мир электроники
Hasła przedmiotowe:	микроэлектроника газовые фазы химическое осаждение процессы классификация технологические характеристики оборудование механизмы интегральные микросхемы функциональные слои пленки
Format:	Książka
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=106117

Podobne zapisy

Осаждение из газовой фазы: сокр. пер. с англ.
Wydane: (Москва, Атомиздат, 1970)

Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста учебное пособие для вузов
od: Васильев В. Ю.
Wydane: (Санкт-Петербург, Лань, 2024)

Химическое осаждение из газовой фазы, вызываемое ВЧ разрядом: перевод № 18/ЭТ-1269
od: Стерлинг Х.
Wydane: (Москва, Изд-во ЦНИИТЭиНИ, 1967)

Влияние температуры испарителя на магнитные свойства пленок кобальта, нанесенных методом химического осаждения из газовой фазы (MOCVD); Современные техника и технологии; Т. 2
od: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Wydane: (2013)

Основы микроэлектроники: учебник
od: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
Wydane: (Москва, Высшая школа, 1983)

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
od: Родионов Ю. А.
Wydane: (Санкт-Петербург, Лань, 2023)

Рентгеноструктурные исследования пленок Co, полученных методом CVD; Высокие технологии в современной науке и технике
od: Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Wydane: (2014)

Исследование электрофизических характеристик и условий образования полимерных пленок из газовой фазы: Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
od: Саноян А. Г.
Wydane: (Новосибирск, 1971)

Химическое газофазное осаждение тугоплавких неорганических материалов: сборник статей
Wydane: (Ленинград, ГИПХ, 1976)

Исследование микроструктуры и свойств поликристаллических алмазных покрытий, синтезированных методом HFCVD при высоких концентрациях метана; Журнал технической физики; Т. 93, вып. 6
Wydane: (2023)

Основы микроэлектроники: учебник
od: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
Wydane: (СПб., Лань, 2008)

Основы микроэлектроники: учебное пособие для вузов
od: Бондарь Б. Г. Борис Георгиевич
Wydane: (Киев, Вища школа, 1987)

Физико-технологические основы микроэлектроники: сборник научных трудов
Wydane: (Ташкент, Изд-во ТашПИ, 1985)

Получение тонких полимерных пленок из газовой фазы
od: Ткачук Б. В. Борис Васильевич
Wydane: (Москва, Химия, 1977)

Контроль в технологии микроэлектроники
od: Колешко В. М. Владимир Михайлович
Wydane: (Минск, Наука и техника, 1979)

Основы микроэлектроники
od: Ефимов И. Е.
Wydane: (Санкт-Петербург, Лань, 2022)

Датчики на основе технологии микроэлектроники
Wydane: (Москва, МДНТП, 1983)

Контактные устройства для контроля изделий микроэлектроники
od: Шабанов А. А. Анатолий Александрович
Wydane: (Москва, Радио и связь, 1985)

Основы микроэлектроники: учебное пособие для вузов
od: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
Wydane: (Москва, Связь, 1975)

Технологические проблемы микроэлектроники
Wydane: (Москва, Наука, 1988)

Основы полупроводниковой микроэлектроники: учебное пособие для среднего профессионально-технического образования
od: Курносов А. И. Анатолий Иванович
Wydane: (Москва, Высшая школа, 1980)

CVD-метод. Химическое парофазное осаждение
od: Сыркин В. Г. Виталий Григорьевич
Wydane: (Москва, Наука, 2000)

Химическое осаждение металлов из водных растворов
Wydane: (Минск, Университетское, 1987)

Рост алмаза и графита из газовой фазы
od: Дерягин Б. В. Борис Владимирович
Wydane: (Москва, Наука, 1977)

Массоперенос в тонких пленках
od: Колешко В. М. Владимир Михайлович
Wydane: (Минск, Наука и техника, 1980)

Осаждение пленок и покрытий разложением металлоорганических соединений
Wydane: (Москва, Наука, 1981)

The dynamic sublayers for improving the adhesion of CVD diamond films on copper; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 830 : Energy Fluxes and Radiation Effects 2016
od: Gaydaychuk A. V. Alexander Valerievich
Wydane: (2017)

Современная микроэлектроника
od: Ефимов И. Е. Иван Ефимович
Wydane: (Москва, Советское радио, 1973)

Вып. 35 : Физико-математическая серия; Сборник научных трудов по проблемам микроэлектроники
Wydane: (1977)

Химическое газофазное осаждение тонких пленок оксида алюминия с использованием изопропилата алюминия в качестве прекурсора; Письма в Журнал технической физики; Т. 51, № 13
Wydane: (2025)

Основы микроэлектроники: учебное пособие
od: Аваев Н. А. Николай Александрович
Wydane: (Москва, Радио и связь, 1991)

Микроэлектроника
od: Волков В. М. Виктор Михайлович
Wydane: (Киев, Технiка, 1983)

Технологии электронной компонентной базы: учебное пособие
od: Хорин И. А. Иван Анатольевич
Wydane: (Саратов, Ай Пи Эр Медиа, 2018)

Микроэлектроника: учебник для средних специальных учебных заведений
od: Овечкин Ю. А. Юрий Алексеевич
Wydane: (Москва, Радио и связь, 1982)

Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров: учебник
od: Черняев В. Н. Владимир Николаевич
Wydane: (Москва, Радио и связь, 1987)

Газофазное осаждение покрытий из нитрида титана
od: Витязь П. А. Петр Александрович
Wydane: (Минск, Наука и техника, 1983)

Газофазная микрометаллургия полупроводников
od: Дорфман В. Ф. Вениамин Фриделевич
Wydane: (Москва, Металлургия, 1974)

Ч. 1; Технологические основы микроэлектроники
Wydane: (2008)

Аналоговые полупроводниковые интегральные микросхемы
od: Остапенко Г. С. Григорий Степанович
Wydane: (Москва, Радио и связь, 1981)

Основы микроэлектроники и микропроцессорной техники: учебное пособие
od: Смирнов Ю. А. Юрий Александрович
Wydane: (Санкт-Петербург, Лань, 2019)