|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
106117 |
| 005 |
20231031114754.0 |
| 010 |
|
|
|a 5948360393
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\114514
|
| 090 |
|
|
|a 106117
|
| 100 |
|
|
|a 20061201d2006 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
|f В. Ю. Киреев, А. А. Столяров
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Техносфера
|d 2006
|
| 215 |
|
|
|a 192 с.
|
| 225 |
1 |
|
|a Мир электроники
|
| 320 |
|
|
|a Список сокращений: с. 19-23.
|
| 320 |
|
|
|a Библиография: с. 188-190.
|
| 330 |
|
|
|a Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов. Рассмотрены параметры оборудования для реализации процессов ХОГФ и проведен анализ его возможностей, достоинств и недостатков при осаждении функциональных слоев микросхем. Приведены основные электрофизические характеристики осаждаемых пленок. Для инженеров-технологов и научных работников, использующих в своей практической работе химическое осаждение пленок из газовой фазы. Книга может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям вузов.
|
| 610 |
1 |
|
|a микроэлектроника
|
| 610 |
1 |
|
|a газовые фазы
|
| 610 |
1 |
|
|a химическое осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a процессы
|
| 610 |
1 |
|
|a классификация
|
| 610 |
1 |
|
|a технологические характеристики
|
| 610 |
1 |
|
|a оборудование
|
| 610 |
1 |
|
|a механизмы
|
| 610 |
1 |
|
|a интегральные микросхемы
|
| 610 |
1 |
|
|a функциональные слои
|
| 610 |
1 |
|
|a пленки
|
| 675 |
|
|
|a 621.382.049.77
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Киреев
|b В. Ю.
|g Валерий Юрьевич
|
| 701 |
|
1 |
|a Столяров
|b А. А.
|g Александр Александрович
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20061201
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20180305
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
