Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич & Столяров А. А. Александр Александрович. (2006). Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы. Москва, Техносфера, 2006.
Citación estilo ChicagoКиреев В. Ю. Валерий Юрьевич and Столяров А. А. Александр Александрович. Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы. Москва, Техносфера, 2006, 2006.
Cita MLAКиреев В. Ю. Валерий Юрьевич and Столяров А. А. Александр Александрович. Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы. Москва, Техносфера, 2006, 2006.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.