Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич & Столяров А. А. Александр Александрович. (2006). Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы. Москва, Техносфера, 2006.
Cita Chicago (17th ed.)Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич i Столяров А. А. Александр Александрович. Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы. Москва, Техносфера, 2006, 2006.
Cita MLA (9th ed.)Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич i Столяров А. А. Александр Александрович. Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы. Москва, Техносфера, 2006, 2006.
Atenció: Aquestes cites poden no estar 100% correctes.