Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич & Столяров А. А. Александр Александрович. (2006). Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы. Москва, Техносфера, 2006.
Chicago Style (17th ed.) CitationКиреев В. Ю. Валерий Юрьевич and Столяров А. А. Александр Александрович. Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы. Москва, Техносфера, 2006, 2006.
MLA (9th ed.) CitationКиреев В. Ю. Валерий Юрьевич and Столяров А. А. Александр Александрович. Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы. Москва, Техносфера, 2006, 2006.
Warning: These citations may not always be 100% accurate.