Неразрушающие методы определения параметров диффузии примеси в твердом теле

Неразрушающие методы определения параметров диффузии примеси в твердом теле

Dettagli Bibliografici
Autore principale:	Бондарь О. Б. Олег Борисович
Riassunto:	В обзоре приведено теоретическое обоснование предложенных автором неразрушающих методов определения параметров твердотельной диффузии и представлены экспериментальные результаты их практической реализации. Получена новая феноменологическая модель многопоточной диффузии примеси в приповерхностной области ионно-легированных материалов и на ее основе определены температурные зависимости параметров диффузии для бора, ионно-легированного в кремний, и азота, ионно-легированного в вольфрам. Для научных и инженерно-технических работников в областях физики твердого тела, материаловедения и микроэлектроники, а также для аспирантов и студентов старших курсов соответствующих специальностей.
Lingua:	russo
Pubblicazione:	Москва, Машиностроение-1, 2004
Soggetti:	твердые тела примеси диффузия определения неразрушающие методы коэффициент массообмена ионно-легированные полупроводники диффузионные параметры ионно-легированные металлы ионно-легированные материалы
Natura:	Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=106052

Documenti analoghi

Зависимость свойств ионно-легированных слоёв GaAs : Si от дозы имплантации после радиационного отжига; Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
di: Ардышев М. В.
Pubblicazione: (2002)

Ионная имплантация: пер. с нем.
di: Риссел Х.
Pubblicazione: (Москва, Наука, 1983)

Напряжения в имплантированных структурах арсенида галлия; Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
di: Ардышев М. В.
Pubblicazione: (2002)

Поверхностная проводимость ионно-легированных неорганических диэлектриков; Ионно-лучевая модификация материалов, 23-25 июня 1987 г., Черноголовка
di: Пичугин В. Ф. Владимир Федорович
Pubblicazione: (1987)

Вып. 5; Активируемые процессы технологии микроэлектроники
Pubblicazione: (1979)

Исследование структурно-фазового состояния сплава ВТ10 после его обработки ионами меди; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
di: Никоненко А. В.
Pubblicazione: (2016)

Поверхностные свойства твердых тел, легированных ионной бомбардировкой
di: Касымов А. Х. Абдувахит Хусанович
Pubblicazione: (Ташкент, Фан, 1987)

Монолитная интегральная схема двухпозиционного СВЧ коммутатора на GaAs; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 309, № 8
Pubblicazione: (2006)

High Intensity Implantation of Aluminium Ions into Titanium; 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
Pubblicazione: (2004)

Повышение износостойкости образцов стали 30ХГСН2А путём ультразвуковой и ионно-лучевой обработки; Современные техника и технологии; Т. 2
di: Куприянов С. Н.
Pubblicazione: (2008)

Высокоинтенсивная ионная имплантация - метод формирования мелкодисперсных интерметаллидов в поверхностных слоях металлов; Известия вузов. Физика; Т. 47, № 9
Pubblicazione: (2004)

Т. 13; Электроника
Pubblicazione: (1981)

Высокоинтенсивная имплантация ионов алюминия в никель и титан; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 307, № 3
Pubblicazione: (2004)

Структура и методы формирования износостойких поверхностных слоев
di: Белый А. В. Алексей Владимирович
Pubblicazione: (Москва, Машиностроение, 1991)

Быстрые термообработки в технологии СБИС
di: Пилипенко В. А. Владимир Александрович
Pubblicazione: (Минск, Изд-во Белорусского ГУ, 2004)

Инженерия поверхностей металлов и сплавов с использованием многокомпонентных плазменных потоков и ионно-ассистированного осаждения
di: Белый А. В.
Pubblicazione: (Минск, Белорусская наука, 2024)

Таблицы параметров пространственного распределения ионно- имплантированных примесей : (Теория, метод расчета, таблицы )
Pubblicazione: (Минск, Изд-во Белорусского ГУ, 1980)

Сильно легированные полупроводники
di: Фистуль В. И. Виктор Ильич
Pubblicazione: (Москва, Наука, 1967)

Свойства легированных полупроводников
Pubblicazione: (Москва, Наука, 1977)

Влияние ионно-плазменной обработки на диффузию кислорода в ферритах; ВНКСФ-8. Восьмая Всероссийская научная конференция студентов-физиков и молодых ученых, Екатеринбург, 2002
di: Лысенко Е. Н. Елена Николаевна
Pubblicazione: (2002)

Физика легированной металлами поверхности полупроводников
di: Примаченко В. Е. Виктор евгеньевич
Pubblicazione: (Киев, Наукова думка, 1988)

Ионно-плазменное наноструктурирование поверхностных слоев высокопрочных сталей и сплавов и нанесение наноструктурных покрытий: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук; спец. 01.04.07
di: Сергеев В. П. Виктор Петрович
Pubblicazione: (Томск, 2011)

Легирование полупроводников методом ядерных реакций
Pubblicazione: (Новосибирск, Наука, 1981)

Особенности оптических свойств сильно легированного GaAs:Te в условиях коррелированного распределения примеси: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.10
di: Сидоров Е. Н. Евгений Николаевич
Pubblicazione: (Томск, 2010)

Моделирование на ЭВМ распределений по глубине нанокластеров вакансионного типа в материалах, облученных ионами; Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2017)
Pubblicazione: (2017)

Диффузия элементов в активированном поверхностном слое; Физическая мезомеханика; Т. 9, № 2
di: Князева А. Г. Анна Георгиевна
Pubblicazione: (2006)

Chromium Alloyed Steel Nitriding within Close-To-Critical Temperature Range; Advanced Materials Research; Vol. 1013 : Structure and Properties of Metals at DifferentEnergy Effects and Treatment Technologies
Pubblicazione: (2014)

Концентрационные и температурные зависимости теплоемкости полупроводников с примесями переходных элементов; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
di: Улитко В. А.
Pubblicazione: (2017)

Радиационно-термическая активация диффузии кислорода в поликристаллических литиевых ферритах: монография
Pubblicazione: (Томск, Изд-во ТПУ, 2016)

Легированные железные порошки из сырья Урала: сборник статей
Pubblicazione: (Свердловск, Изд-во УНЦ АН СССР, 1983)

Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
di: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Pubblicazione: (Москва, Радио и связь, 1983)

Получение и исследование свойств ионно-плазменных покрытий с использованием сложных катодов системы (TiAlMoVZr); Современные техника и технологии; Т. 2
di: Алтухов С. И.
Pubblicazione: (2009)

Ионно-лучевая и ионно-плазменная модификация материалов
Pubblicazione: (Москва, Изд-во МГУ, 2005)

Сварка легированных сталей в машиностроении: научно-техническое совещание работников промышленности, деятелей науки и техники
Pubblicazione: (Ленинград, 1951)

Распространение звука в легированных полупроводниках
di: Гитис М. Б. Михаил Борисович
Pubblicazione: (Кишинев, Штиинца, 1986)

Ионно-лучевые технологии модификации поверхности; Физическая мезомеханика; Т. 5, № 1
di: Шаркеев Ю. П. Юрий Петрович
Pubblicazione: (2002)

Влияние ширины минизоны на время релаксации электронов сверхрешетки при рассеянии на ионах примеси; Известия вузов. Физика; Т. 46, № 5
di: Борисенко С. И.
Pubblicazione: (2003)

Влияние кинетических процессов в конце трека отрицательного мюона в легированном невырожденном кремнии на поведение поляризации спина мюона; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 126, вып. 2
di: Батурин А. С.
Pubblicazione: (2004)

Ионно-фотонная спектроскопия: учебное пособие для вузов
di: Бажин А. И. Анатолий Иванович
Pubblicazione: (Киев, УМКВО, 1989)

Модифицирование полупроводников пучками протонов
di: Козловский В. В. Виталий Васильевич
Pubblicazione: (СПб., Наука, 2003)