Неразрушающие методы определения параметров диффузии примеси в твердом теле

Неразрушающие методы определения параметров диффузии примеси в твердом теле

Bibliographic Details
Main Author:	Бондарь О. Б. Олег Борисович
Summary:	В обзоре приведено теоретическое обоснование предложенных автором неразрушающих методов определения параметров твердотельной диффузии и представлены экспериментальные результаты их практической реализации. Получена новая феноменологическая модель многопоточной диффузии примеси в приповерхностной области ионно-легированных материалов и на ее основе определены температурные зависимости параметров диффузии для бора, ионно-легированного в кремний, и азота, ионно-легированного в вольфрам. Для научных и инженерно-технических работников в областях физики твердого тела, материаловедения и микроэлектроники, а также для аспирантов и студентов старших курсов соответствующих специальностей.
Language:	Russian
Published:	Москва, Машиностроение-1, 2004
Subjects:	твердые тела примеси диффузия определения неразрушающие методы коэффициент массообмена ионно-легированные полупроводники диффузионные параметры ионно-легированные металлы ионно-легированные материалы
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=106052

Similar Items

Зависимость свойств ионно-легированных слоёв GaAs : Si от дозы имплантации после радиационного отжига; Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
by: Ардышев М. В.
Published: (2002)

Ионная имплантация: пер. с нем.
by: Риссел Х.
Published: (Москва, Наука, 1983)

Напряжения в имплантированных структурах арсенида галлия; Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
by: Ардышев М. В.
Published: (2002)

Поверхностная проводимость ионно-легированных неорганических диэлектриков; Ионно-лучевая модификация материалов, 23-25 июня 1987 г., Черноголовка
by: Пичугин В. Ф. Владимир Федорович
Published: (1987)

Поверхностные свойства твердых тел, легированных ионной бомбардировкой
by: Касымов А. Х. Абдувахит Хусанович
Published: (Ташкент, Фан, 1987)

Исследование структурно-фазового состояния сплава ВТ10 после его обработки ионами меди; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Никоненко А. В.
Published: (2016)

Вып. 5; Активируемые процессы технологии микроэлектроники
Published: (1979)

High Intensity Implantation of Aluminium Ions into Titanium; 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
Published: (2004)

Монолитная интегральная схема двухпозиционного СВЧ коммутатора на GaAs; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 309, № 8
Published: (2006)

Повышение износостойкости образцов стали 30ХГСН2А путём ультразвуковой и ионно-лучевой обработки; Современные техника и технологии; Т. 2
by: Куприянов С. Н.
Published: (2008)

Высокоинтенсивная ионная имплантация - метод формирования мелкодисперсных интерметаллидов в поверхностных слоях металлов; Известия вузов. Физика; Т. 47, № 9
Published: (2004)

Т. 13; Электроника
Published: (1981)

Высокоинтенсивная имплантация ионов алюминия в никель и титан; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 307, № 3
Published: (2004)

Структура и методы формирования износостойких поверхностных слоев
by: Белый А. В. Алексей Владимирович
Published: (Москва, Машиностроение, 1991)

Быстрые термообработки в технологии СБИС
by: Пилипенко В. А. Владимир Александрович
Published: (Минск, Изд-во Белорусского ГУ, 2004)

Инженерия поверхностей металлов и сплавов с использованием многокомпонентных плазменных потоков и ионно-ассистированного осаждения
by: Белый А. В.
Published: (Минск, Белорусская наука, 2024)

Таблицы параметров пространственного распределения ионно- имплантированных примесей : (Теория, метод расчета, таблицы )
Published: (Минск, Изд-во Белорусского ГУ, 1980)

Сильно легированные полупроводники
by: Фистуль В. И. Виктор Ильич
Published: (Москва, Наука, 1967)

Физика легированной металлами поверхности полупроводников
by: Примаченко В. Е. Виктор евгеньевич
Published: (Киев, Наукова думка, 1988)

Свойства легированных полупроводников
Published: (Москва, Наука, 1977)

Влияние ионно-плазменной обработки на диффузию кислорода в ферритах; ВНКСФ-8. Восьмая Всероссийская научная конференция студентов-физиков и молодых ученых, Екатеринбург, 2002
by: Лысенко Е. Н. Елена Николаевна
Published: (2002)

Легирование полупроводников методом ядерных реакций
Published: (Новосибирск, Наука, 1981)

Ионно-плазменное наноструктурирование поверхностных слоев высокопрочных сталей и сплавов и нанесение наноструктурных покрытий: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук; спец. 01.04.07
by: Сергеев В. П. Виктор Петрович
Published: (Томск, 2011)

Особенности оптических свойств сильно легированного GaAs:Te в условиях коррелированного распределения примеси: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.10
by: Сидоров Е. Н. Евгений Николаевич
Published: (Томск, 2010)

Моделирование на ЭВМ распределений по глубине нанокластеров вакансионного типа в материалах, облученных ионами; Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2017)
Published: (2017)

Диффузия элементов в активированном поверхностном слое; Физическая мезомеханика; Т. 9, № 2
by: Князева А. Г. Анна Георгиевна
Published: (2006)

Chromium Alloyed Steel Nitriding within Close-To-Critical Temperature Range; Advanced Materials Research; Vol. 1013 : Structure and Properties of Metals at DifferentEnergy Effects and Treatment Technologies
Published: (2014)

Концентрационные и температурные зависимости теплоемкости полупроводников с примесями переходных элементов; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Улитко В. А.
Published: (2017)

Радиационно-термическая активация диффузии кислорода в поликристаллических литиевых ферритах: монография
Published: (Томск, Изд-во ТПУ, 2016)

Легированные железные порошки из сырья Урала: сборник статей
Published: (Свердловск, Изд-во УНЦ АН СССР, 1983)

Получение и исследование свойств ионно-плазменных покрытий с использованием сложных катодов системы (TiAlMoVZr); Современные техника и технологии; Т. 2
by: Алтухов С. И.
Published: (2009)

Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
by: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Published: (Москва, Радио и связь, 1983)

Сварка легированных сталей в машиностроении: научно-техническое совещание работников промышленности, деятелей науки и техники
Published: (Ленинград, 1951)

Распространение звука в легированных полупроводниках
by: Гитис М. Б. Михаил Борисович
Published: (Кишинев, Штиинца, 1986)

Ионно-лучевая и ионно-плазменная модификация материалов
Published: (Москва, Изд-во МГУ, 2005)

Ионно-лучевые технологии модификации поверхности; Физическая мезомеханика; Т. 5, № 1
by: Шаркеев Ю. П. Юрий Петрович
Published: (2002)

Влияние ширины минизоны на время релаксации электронов сверхрешетки при рассеянии на ионах примеси; Известия вузов. Физика; Т. 46, № 5
by: Борисенко С. И.
Published: (2003)

Влияние кинетических процессов в конце трека отрицательного мюона в легированном невырожденном кремнии на поведение поляризации спина мюона; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 126, вып. 2
by: Батурин А. С.
Published: (2004)

Ионно-фотонная спектроскопия: учебное пособие для вузов
by: Бажин А. И. Анатолий Иванович
Published: (Киев, УМКВО, 1989)

Действие ионно-плазменной обработки на ферриты; Электротехника, электромеханика и электротехнологии
by: Сапаев А. В.
Published: (2002)