Неразрушающие методы определения параметров диффузии примеси в твердом теле
| Egile nagusia: | Бондарь О. Б. Олег Борисович |
|---|---|
| Gaia: | В обзоре приведено теоретическое обоснование предложенных автором неразрушающих методов определения параметров твердотельной диффузии и представлены экспериментальные результаты их практической реализации. Получена новая феноменологическая модель многопоточной диффузии примеси в приповерхностной области ионно-легированных материалов и на ее основе определены температурные зависимости параметров диффузии для бора, ионно-легированного в кремний, и азота, ионно-легированного в вольфрам. Для научных и инженерно-технических работников в областях физики твердого тела, материаловедения и микроэлектроники, а также для аспирантов и студентов старших курсов соответствующих специальностей. |
| Hizkuntza: | errusiera |
| Argitaratua: |
Москва, Машиностроение-1, 2004
|
| Gaiak: | |
| Formatua: | Liburua |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=106052 |
Antzeko izenburuak
Зависимость свойств ионно-легированных слоёв GaAs : Si от дозы имплантации после радиационного отжига; Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
nork: Ардышев М. В.
Argitaratua: (2002)
nork: Ардышев М. В.
Argitaratua: (2002)
Ионная имплантация: пер. с нем.
nork: Риссел Х.
Argitaratua: (Москва, Наука, 1983)
nork: Риссел Х.
Argitaratua: (Москва, Наука, 1983)
Напряжения в имплантированных структурах арсенида галлия; Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
nork: Ардышев М. В.
Argitaratua: (2002)
nork: Ардышев М. В.
Argitaratua: (2002)
Поверхностная проводимость ионно-легированных неорганических диэлектриков; Ионно-лучевая модификация материалов, 23-25 июня 1987 г., Черноголовка
nork: Пичугин В. Ф. Владимир Федорович
Argitaratua: (1987)
nork: Пичугин В. Ф. Владимир Федорович
Argitaratua: (1987)
Поверхностные свойства твердых тел, легированных ионной бомбардировкой
nork: Касымов А. Х. Абдувахит Хусанович
Argitaratua: (Ташкент, Фан, 1987)
nork: Касымов А. Х. Абдувахит Хусанович
Argitaratua: (Ташкент, Фан, 1987)
Исследование структурно-фазового состояния сплава ВТ10 после его обработки ионами меди; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
nork: Никоненко А. В.
Argitaratua: (2016)
nork: Никоненко А. В.
Argitaratua: (2016)
Вып. 5; Активируемые процессы технологии микроэлектроники
Argitaratua: (1979)
Argitaratua: (1979)
High Intensity Implantation of Aluminium Ions into Titanium; 7 International conference on modification of materials with particle beams and plasma flows
Argitaratua: (2004)
Argitaratua: (2004)
Монолитная интегральная схема двухпозиционного СВЧ коммутатора на GaAs; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 309, № 8
Argitaratua: (2006)
Argitaratua: (2006)
Повышение износостойкости образцов стали 30ХГСН2А путём ультразвуковой и ионно-лучевой обработки; Современные техника и технологии; Т. 2
nork: Куприянов С. Н.
Argitaratua: (2008)
nork: Куприянов С. Н.
Argitaratua: (2008)
Высокоинтенсивная ионная имплантация - метод формирования мелкодисперсных интерметаллидов в поверхностных слоях металлов; Известия вузов. Физика; Т. 47, № 9
Argitaratua: (2004)
Argitaratua: (2004)
Т. 13; Электроника
Argitaratua: (1981)
Argitaratua: (1981)
Высокоинтенсивная имплантация ионов алюминия в никель и титан; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 307, № 3
Argitaratua: (2004)
Argitaratua: (2004)
Структура и методы формирования износостойких поверхностных слоев
nork: Белый А. В. Алексей Владимирович
Argitaratua: (Москва, Машиностроение, 1991)
nork: Белый А. В. Алексей Владимирович
Argitaratua: (Москва, Машиностроение, 1991)
Быстрые термообработки в технологии СБИС
nork: Пилипенко В. А. Владимир Александрович
Argitaratua: (Минск, Изд-во Белорусского ГУ, 2004)
nork: Пилипенко В. А. Владимир Александрович
Argitaratua: (Минск, Изд-во Белорусского ГУ, 2004)
Инженерия поверхностей металлов и сплавов с использованием многокомпонентных плазменных потоков и ионно-ассистированного осаждения
nork: Белый А. В.
Argitaratua: (Минск, Белорусская наука, 2024)
nork: Белый А. В.
Argitaratua: (Минск, Белорусская наука, 2024)
Таблицы параметров пространственного распределения ионно- имплантированных примесей : (Теория, метод расчета, таблицы )
Argitaratua: (Минск, Изд-во Белорусского ГУ, 1980)
Argitaratua: (Минск, Изд-во Белорусского ГУ, 1980)
Сильно легированные полупроводники
nork: Фистуль В. И. Виктор Ильич
Argitaratua: (Москва, Наука, 1967)
nork: Фистуль В. И. Виктор Ильич
Argitaratua: (Москва, Наука, 1967)
Физика легированной металлами поверхности полупроводников
nork: Примаченко В. Е. Виктор евгеньевич
Argitaratua: (Киев, Наукова думка, 1988)
nork: Примаченко В. Е. Виктор евгеньевич
Argitaratua: (Киев, Наукова думка, 1988)
Свойства легированных полупроводников
Argitaratua: (Москва, Наука, 1977)
Argitaratua: (Москва, Наука, 1977)
Влияние ионно-плазменной обработки на диффузию кислорода в ферритах; ВНКСФ-8. Восьмая Всероссийская научная конференция студентов-физиков и молодых ученых, Екатеринбург, 2002
nork: Лысенко Е. Н. Елена Николаевна
Argitaratua: (2002)
nork: Лысенко Е. Н. Елена Николаевна
Argitaratua: (2002)
Легирование полупроводников методом ядерных реакций
Argitaratua: (Новосибирск, Наука, 1981)
Argitaratua: (Новосибирск, Наука, 1981)
Ионно-плазменное наноструктурирование поверхностных слоев высокопрочных сталей и сплавов и нанесение наноструктурных покрытий: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук; спец. 01.04.07
nork: Сергеев В. П. Виктор Петрович
Argitaratua: (Томск, 2011)
nork: Сергеев В. П. Виктор Петрович
Argitaratua: (Томск, 2011)
Особенности оптических свойств сильно легированного GaAs:Te в условиях коррелированного распределения примеси: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.10
nork: Сидоров Е. Н. Евгений Николаевич
Argitaratua: (Томск, 2010)
nork: Сидоров Е. Н. Евгений Николаевич
Argitaratua: (Томск, 2010)
Моделирование на ЭВМ распределений по глубине нанокластеров вакансионного типа в материалах, облученных ионами; Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2017)
Argitaratua: (2017)
Argitaratua: (2017)
Диффузия элементов в активированном поверхностном слое; Физическая мезомеханика; Т. 9, № 2
nork: Князева А. Г. Анна Георгиевна
Argitaratua: (2006)
nork: Князева А. Г. Анна Георгиевна
Argitaratua: (2006)
Chromium Alloyed Steel Nitriding within Close-To-Critical Temperature Range; Advanced Materials Research; Vol. 1013 : Structure and Properties of Metals at DifferentEnergy Effects and Treatment Technologies
Argitaratua: (2014)
Argitaratua: (2014)
Концентрационные и температурные зависимости теплоемкости полупроводников с примесями переходных элементов; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
nork: Улитко В. А.
Argitaratua: (2017)
nork: Улитко В. А.
Argitaratua: (2017)
Радиационно-термическая активация диффузии кислорода в поликристаллических литиевых ферритах: монография
Argitaratua: (Томск, Изд-во ТПУ, 2016)
Argitaratua: (Томск, Изд-во ТПУ, 2016)
Легированные железные порошки из сырья Урала: сборник статей
Argitaratua: (Свердловск, Изд-во УНЦ АН СССР, 1983)
Argitaratua: (Свердловск, Изд-во УНЦ АН СССР, 1983)
Получение и исследование свойств ионно-плазменных покрытий с использованием сложных катодов системы (TiAlMoVZr); Современные техника и технологии; Т. 2
nork: Алтухов С. И.
Argitaratua: (2009)
nork: Алтухов С. И.
Argitaratua: (2009)
Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур
nork: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Argitaratua: (Москва, Радио и связь, 1983)
nork: Киреев В. Ю. Валерий Юрьевич
Argitaratua: (Москва, Радио и связь, 1983)
Сварка легированных сталей в машиностроении: научно-техническое совещание работников промышленности, деятелей науки и техники
Argitaratua: (Ленинград, 1951)
Argitaratua: (Ленинград, 1951)
Распространение звука в легированных полупроводниках
nork: Гитис М. Б. Михаил Борисович
Argitaratua: (Кишинев, Штиинца, 1986)
nork: Гитис М. Б. Михаил Борисович
Argitaratua: (Кишинев, Штиинца, 1986)
Ионно-лучевая и ионно-плазменная модификация материалов
Argitaratua: (Москва, Изд-во МГУ, 2005)
Argitaratua: (Москва, Изд-во МГУ, 2005)
Ионно-лучевые технологии модификации поверхности; Физическая мезомеханика; Т. 5, № 1
nork: Шаркеев Ю. П. Юрий Петрович
Argitaratua: (2002)
nork: Шаркеев Ю. П. Юрий Петрович
Argitaratua: (2002)
Влияние ширины минизоны на время релаксации электронов сверхрешетки при рассеянии на ионах примеси; Известия вузов. Физика; Т. 46, № 5
nork: Борисенко С. И.
Argitaratua: (2003)
nork: Борисенко С. И.
Argitaratua: (2003)
Влияние кинетических процессов в конце трека отрицательного мюона в легированном невырожденном кремнии на поведение поляризации спина мюона; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 126, вып. 2
nork: Батурин А. С.
Argitaratua: (2004)
nork: Батурин А. С.
Argitaratua: (2004)
Ионно-фотонная спектроскопия: учебное пособие для вузов
nork: Бажин А. И. Анатолий Иванович
Argitaratua: (Киев, УМКВО, 1989)
nork: Бажин А. И. Анатолий Иванович
Argitaratua: (Киев, УМКВО, 1989)
Действие ионно-плазменной обработки на ферриты; Электротехника, электромеханика и электротехнологии
nork: Сапаев А. В.
Argitaratua: (2002)
nork: Сапаев А. В.
Argitaratua: (2002)
Antzeko izenburuak
-
Зависимость свойств ионно-легированных слоёв GaAs : Si от дозы имплантации после радиационного отжига; Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
nork: Ардышев М. В.
Argitaratua: (2002) -
Ионная имплантация: пер. с нем.
nork: Риссел Х.
Argitaratua: (Москва, Наука, 1983) -
Напряжения в имплантированных структурах арсенида галлия; Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
nork: Ардышев М. В.
Argitaratua: (2002) -
Поверхностная проводимость ионно-легированных неорганических диэлектриков; Ионно-лучевая модификация материалов, 23-25 июня 1987 г., Черноголовка
nork: Пичугин В. Ф. Владимир Федорович
Argitaratua: (1987) -
Поверхностные свойства твердых тел, легированных ионной бомбардировкой
nork: Касымов А. Х. Абдувахит Хусанович
Argitaratua: (Ташкент, Фан, 1987)