Неразрушающие методы определения параметров диффузии примеси в твердом теле
| Autore principale: | |
|---|---|
| Riassunto: | В обзоре приведено теоретическое обоснование предложенных автором неразрушающих методов определения параметров твердотельной диффузии и представлены экспериментальные результаты их практической реализации. Получена новая феноменологическая модель многопоточной диффузии примеси в приповерхностной области ионно-легированных материалов и на ее основе определены температурные зависимости параметров диффузии для бора, ионно-легированного в кремний, и азота, ионно-легированного в вольфрам. Для научных и инженерно-технических работников в областях физики твердого тела, материаловедения и микроэлектроники, а также для аспирантов и студентов старших курсов соответствующих специальностей. |
| Lingua: | russo |
| Pubblicazione: |
Москва, Машиностроение-1, 2004
|
| Soggetti: | |
| Natura: | Libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=106052 |