|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
106052 |
| 005 |
20231031114740.0 |
| 010 |
|
|
|a 5942751374
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\114446
|
| 090 |
|
|
|a 106052
|
| 100 |
|
|
|a 20061130d2004 km y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Неразрушающие методы определения параметров диффузии примеси в твердом теле
|f О. Б. Бондарь
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Машиностроение-1
|d 2004
|
| 215 |
|
|
|a 88 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 85-88.
|
| 330 |
|
|
|a В обзоре приведено теоретическое обоснование предложенных автором неразрушающих методов определения параметров твердотельной диффузии и представлены экспериментальные результаты их практической реализации. Получена новая феноменологическая модель многопоточной диффузии примеси в приповерхностной области ионно-легированных материалов и на ее основе определены температурные зависимости параметров диффузии для бора, ионно-легированного в кремний, и азота, ионно-легированного в вольфрам. Для научных и инженерно-технических работников в областях физики твердого тела, материаловедения и микроэлектроники, а также для аспирантов и студентов старших курсов соответствующих специальностей.
|
| 610 |
1 |
|
|a твердые тела
|
| 610 |
1 |
|
|a примеси
|
| 610 |
1 |
|
|a диффузия
|
| 610 |
1 |
|
|a определения
|
| 610 |
1 |
|
|a неразрушающие методы
|
| 610 |
1 |
|
|a коэффициент массообмена
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-легированные полупроводники
|
| 610 |
1 |
|
|a диффузионные параметры
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-легированные металлы
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-легированные материалы
|
| 675 |
|
|
|a 539.219
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Бондарь
|b О. Б.
|g Олег Борисович
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20061130
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20061220
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
