|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
103074 |
| 005 |
20251206120121.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\111142
|
| 090 |
|
|
|a 103074
|
| 100 |
|
|
|a 20061012d2003 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 200 |
1 |
|
|a Аттестация состояния поверхности тонких плёнок AG при пропускании электрического тока высокой плотности
|f Н. В. Пыхтин, А. Л. Боровский, А. Р. Шугуров
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: 1 назв.
|
| 463 |
|
0 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\52825
|y 5-93629-140-5
|t Современные проблемы машиностроения и приборостроения
|o 1 Международная конференция, Томск, 24-28 сентября 2002 г.
|o Сборник трудов
|v С. 28-30.
|d 2003
|
| 610 |
1 |
|
|a плёнки
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие плёнки
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхности
|
| 610 |
1 |
|
|a электрический ток
|
| 610 |
1 |
|
|a интегральные схемы
|
| 610 |
1 |
|
|a измерительные комплексы
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 700 |
|
1 |
|a Пыхтин
|b Н. В.
|
| 701 |
|
1 |
|a Боровский
|b А. Л.
|
| 701 |
|
1 |
|a Шугуров
|b А. Р.
|c специалист в области материаловедения
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1967-
|g Артур Рубинович
|y Томск
|9 22640
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20061012
|g PSBO
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
