|
|
|
|
| LEADER |
00000nlm0a2200000 4500 |
| 001 |
102181 |
| 005 |
20231031112856.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\110183
|
| 090 |
|
|
|a 102181
|
| 100 |
|
|
|a 20060920d2006 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a dm 001zy
|
| 135 |
|
|
|a drbn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком
|b Электронный ресурс
|e автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
|f Ли Цзень Фень
|g Научно-исследовательский институт высоких напряжений (НИИВН); науч. рук. Г. Е. Ремнев
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 210 |
|
|
|a Томск
|c [Б. и.]
|d 2006
|
| 215 |
|
|
|a 1 файл (1300 Kb)
|
| 230 |
|
|
|a Электронные текстовые данные (1 файл : 1300 Kb)
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 300 |
|
|
|a Электронная версия печатной публикации
|
| 337 |
|
|
|a Adobe Reader
|
| 452 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\book\107007
|t Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком
|o автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
|o спец. 05.09.02
|o спец. 01.04.04
|f Ли Цзень Фень
|g Научно-исследовательский институт высоких напряжений (НИИВН); науч. рук. Г. Е. Ремнев
|c Томск
|n Б.и.
|d 2006
|p 18 с.
|a Ли Цзень Фень, 0
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a получение
|
| 610 |
1 |
|
|a пленки арсенида галия
|
| 610 |
1 |
|
|a импульсные мощные ионные пучки
|
| 610 |
1 |
|
|a воздействие
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение
|
| 610 |
1 |
|
|a абляционная плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a авторефераты диссертаций
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 675 |
|
|
|a 539.216.2(04)
|v 3
|
| 686 |
|
|
|a 05.09.02
|2 oksvnk
|
| 686 |
|
|
|a 01.04.04
|2 oksvnk
|
| 700 |
|
1 |
|a Ли Цзень Фень
|
| 702 |
|
1 |
|a Ремнев
|b Г. Е.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук
|f 1948-
|g Геннадий Ефимович
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22004
|4 727
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Томский политехнический университет (ТПУ)
|b Научно-исследовательский институт высоких напряжений (НИИВН)
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\3249
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20060920
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20151116
|g PSBO
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2006/26.pdf
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
