Rezultati - Яфаров Р. К. Равиль Кяшшафович

Плазмохимические процессы СВЧ газовый разряд СВЧ-оборудование СВЧ-плазма аллотропные модификации внешние магнитные поля высокочастотные плазменные устройства диффузионная модель кремниевые материалы наноалмазные кристаллы нанотехнологии низкоразмерные структуры плазма плазмохимический синтез самоорганизация сверхвысокочастотное плазмохимическое травление технологические процессы электромагнитные волны