תוצאות חיפוש - Юдаков С. В. Сергей Владимирович

труды учёных ТПУ электронный ресурс ионные пучки теплоотражающие покрытия вакуумные камеры плазма плазменные установки поверхности системы системы управления структуры эксплуатация элементы Томский политехнический университет (ТПУ) Научно-исследовательский институт ядерной физики (НИИ ЯФ) (1998- ) базовые объекты ионные источники источники конструктивные особенности конструкции контроллеры лабораторные установки листовое стекло листовые стекла магнетронные разряды магнетронные распылительные системы магнетронный разряд магнетронный тип магнетроны металлические материалы методы