Hakutulokset - Шкаруппо Т. П. Татьяна Петровна
- Näytetään 1 - 1 yhteensä 1 tuloksesta
-
1
Исследование влияния некоторых фактров на получение и применение диэлектрических подложек с особо высоким классом чистоты обработки для пленочных микросхем диссертация на соискание... Tekijä Шкаруппо Т. П. Татьяна Петровна
Julkaistu Новосибирск, [Б. и.], 1973Hyllypaikka: Lataa…
Sijainti: Lataa…Kirja Lataa…
Työkalut:
Liittyvät aiheet
Химические вещества,чистые Получение
диссертации
диэлектрические подложки
изготовление
испытание
кварцевые заготовки
кварцевые подложки
материалы
окисляющие реагенты
пластины
пленочные микросхемы
полировка
применение
резка
скорость
стеклокристаллические подложки
стеклянные подложки
термообработка
флюорит
чистота