Search Results - Шкаруппо Т. П. Татьяна Петровна
- Showing 1 - 1 results of 1
-
1
Исследование влияния некоторых фактров на получение и применение диэлектрических подложек с особо высоким классом чистоты обработки для пленочных микросхем диссертация на соискание... by Шкаруппо Т. П. Татьяна Петровна
Published Новосибирск, [Б. и.], 1973Call Number: Loading…
Located: Loading…Book Loading…
Search Tools:
Related Subjects
Химические вещества,чистые Получение
диссертации
диэлектрические подложки
изготовление
испытание
кварцевые заготовки
кварцевые подложки
материалы
окисляющие реагенты
пластины
пленочные микросхемы
полировка
применение
резка
скорость
стеклокристаллические подложки
стеклянные подложки
термообработка
флюорит
чистота