نتائج البحث - Чистяков Ю. Д. Юрий Дмитриевич

интенсификация учебные пособия Микроэлектроника Микроэлектроника Производство Метрологическое обеспечение Нанотехнология вакуум-термическое удаление вещество газовые фазы гетерогенное фазообразование гетерогенные процессы диффузионные процессы жидкофазная эпитаксия излучения механическое удаление нанесение перераспределение поверхность подложки поля примеси радиотехника реакционная конденсация твердофазная эпитаксия твердые фазы термодиффузионное легирование удаление управляемость физико-химические процессы физическая конденсация физические основы