Результаты поиска - Хорин И. А. Иван Анатольевич

Компонентная база Электроника СБИС выращивание изготовление кремний легирование литографические процессы микросхемы микроэлектроника монокристаллические пленки монокристаллические подложки наноструктура нитрид кремния объемные монокристаллы оксид кремния оксидные пленки оптическая литография осаждение в вакууме осаждение из газовой фазы подготовка получение сборка технохимические процессы толстопленочная технология тонкие пленки травление учебные пособия чистые полупроводниковые материалы чистые помещения