检索结果 - Жуков В. В. Владислав Вячеславович
- Showing 1 - 1 results of 1
-
1
Распыление мишени при ассистировании магнетронного разряда ионным пучком 由 Жуков В. В. Владислав Вячеславович
出版 2004索引号: 载入...获取全文
位于: 载入...
电子 本书章节
相关主题
ассистирование
газовые смеси
дрейф
ионные источники
ионные пучки
магнетронные диоды
магнетронный разряд
материалы
мишени
мощность
оксидные пленки
осаждение
параметры
парциальное давление
поверхность
подача
покрытия
постоянный ток
проблемы
продукты
распыление
распылительные системы
реактивные газы
скорость
технологические параметры
труды учёных ТПУ
удаление
управление
ускоренные ионы
условия