Результати пошуку - Жуков В. В. Владислав Вячеславович
- Показ 1 - 1 результатів із 1
-
1
Распыление мишени при ассистировании магнетронного разряда ионным пучком за авторством Жуков В. В. Владислав Вячеславович
Опубліковано 2004Шифр: Завантаження...Отримати повний текст
Розміщений: Завантаження...
Електронний ресурс Частина з книги
Інструменти для пошуку:
Пов'язані теми
ассистирование
газовые смеси
дрейф
ионные источники
ионные пучки
магнетронные диоды
магнетронный разряд
материалы
мишени
мощность
оксидные пленки
осаждение
параметры
парциальное давление
поверхность
подача
покрытия
постоянный ток
проблемы
продукты
распыление
распылительные системы
реактивные газы
скорость
технологические параметры
труды учёных ТПУ
удаление
управление
ускоренные ионы
условия