Torthaí cuardaigh - Жуков В. В. Владислав Вячеславович

ассистирование газовые смеси дрейф ионные источники ионные пучки магнетронные диоды магнетронный разряд материалы мишени мощность оксидные пленки осаждение параметры парциальное давление поверхность подача покрытия постоянный ток проблемы продукты распыление распылительные системы реактивные газы скорость технологические параметры труды учёных ТПУ удаление управление ускоренные ионы условия