Bilaketaren emaitzak - Жуков В. В. Владислав Вячеславович
- Erakusten 1 - 1 emaitzak -- 1
-
1
Распыление мишени при ассистировании магнетронного разряда ионным пучком nork Жуков В. В. Владислав Вячеславович
Argitaratua 2004Sailkapena: Lanean...Testu osoa
Kokapena: Lanean...
Baliabide elektronikoa Liburu kapitulua
Bilaketa egiteko lanabesak:
Antzeko gaiak
ассистирование
газовые смеси
дрейф
ионные источники
ионные пучки
магнетронные диоды
магнетронный разряд
материалы
мишени
мощность
оксидные пленки
осаждение
параметры
парциальное давление
поверхность
подача
покрытия
постоянный ток
проблемы
продукты
распыление
распылительные системы
реактивные газы
скорость
технологические параметры
труды учёных ТПУ
удаление
управление
ускоренные ионы
условия