نتائج البحث - Жуков В. В. Владислав Вячеславович
- يعرض 1 - 1 نتائج من 1
-
1
Распыление мишени при ассистировании магнетронного разряда ионным пучком حسب Жуков В. В. Владислав Вячеславович
منشور في 2004رقم الاستدعاء: جاري التحميل…احصل على النص الكامل
المكان: جاري التحميل…
الكتروني فصل الكتاب
أدوات البحث:
موضوعات ذات صلة
ассистирование
газовые смеси
дрейф
ионные источники
ионные пучки
магнетронные диоды
магнетронный разряд
материалы
мишени
мощность
оксидные пленки
осаждение
параметры
парциальное давление
поверхность
подача
покрытия
постоянный ток
проблемы
продукты
распыление
распылительные системы
реактивные газы
скорость
технологические параметры
труды учёных ТПУ
удаление
управление
ускоренные ионы
условия