Որոնման արդյունքները - Жуков В. В. Владислав Вячеславович
- Ցուցադրվում են 1 - 1 արդյունքները 1
-
1
Распыление мишени при ассистировании магнетронного разряда ионным пучком Жуков В. В. Владислав Вячеславович
Հրապարակվել է 2004Դասիչ: Բեռնվում է…Ստացեք ամբողջական տեքստը
Տեղակայված է: Բեռնվում է…
Էլեկտրոնային Գրքի գլուխ
Որոնման գործիքներ:
Առնչվող խորագիր
ассистирование
газовые смеси
дрейф
ионные источники
ионные пучки
магнетронные диоды
магнетронный разряд
материалы
мишени
мощность
оксидные пленки
осаждение
параметры
парциальное давление
поверхность
подача
покрытия
постоянный ток
проблемы
продукты
распыление
распылительные системы
реактивные газы
скорость
технологические параметры
труды учёных ТПУ
удаление
управление
ускоренные ионы
условия